В Томске разрабатывают щадящий метод проверки материала для полупроводников

Сотрудники Томского государственного университета (ТГУ) разрабатывают по нацпроекту «Наука и университеты» щадящий метод проверки пластин для производства полупроводников, сообщила пресс-служба вуза.

«Новый подход с использованием инфракрасного излучения позволит существенно сократить финансовые затраты и время на исследование дефектов в структуре пластин», — говорится в сообщении.

По словам сотрудника лаборатории детекторов синхротронного излучения ТГУ Александра Винника, сейчас для проверки пластин используются агрессивные химические вещества. Эта методика недостаточно надежно выявляет их дефекты и приводит к повреждению материала.

Разработчики планируют создать с использованием новой технологии стенд и программно-аппаратный комплекс для автоматизированного контроля качества полупроводниковых пластин. Их потенциальными потребителями могут стать отечественные производители монокристаллов, полупроводников, пластин, интегральных схем и другие компании в области микроэлектроники.

Согласно целям национального проекта «Наука и университеты», Россия должна войти в пятерку стран, ведущих разработки в приоритетных областях. Нацпроекты, инициированные президентом РФ Владимиром Путиным, стартовали в 2019 году.